開発品の「アプレーザー-ＤＵＶ」

三菱重工業グループの三菱重工工作機械は、短パルスの深紫外（ＤＵＶ）レーザーを採用した微細レーザー加工機の新モデルを開発したと発表した。ＤＵＶレーザーの特性と集光光学系の最適設計により穴あけをはじめとする超精密加工を高精度に実現する。微細レーザー加工機「アブレーザー」は、高いピーク出力で加工部分を蒸発・昇華させることで、加工面への熱影響を抑えること…