ＳｉＣエピウエハー、写真左から６インチ品、４インチ品、３インチ品

昭和電工は、パワー半導体の製造に使われる炭化ケイ素（ＳｉＣ）エピタキシャルウエハー（エピウエハー）６インチ品の生産能力を月４００枚から同１１００枚に増強したと発表した。これにより、異なるサイズを含めた同製品全体の生産能力は約６割拡大する。増産を機に、高性能デバイスに対応した新グレードの製品を追加し、１０月に発売する計画だ。ＳiＣパワー半導体は、電…