次世代半導体の国産化を目指すラピダス（小池淳義社長、東京都千代田区）は、北海道千歳市で建設中の拠点で、蘭ＡＳＭＬ社製のＥＵＶ（極端紫外線）露光装置を搬入し、設置作業を始めたと発表した。最先端半導体の量産に対応したＥＵＶ露光装置の導入は、日本初となる。記念の式典が昨年１２月、新千歳空港ポルトムホールで開かれた。今回の露光装置は、微細化に対応しながら…