堀場製作所は、電子技術と光技術を融合し、基盤の広い範囲を高精細、高速で画像化できるカソードルミネッセンス（ＣＬ）測定専用の装置「イメージングＣＬ」を業界で初めて開発したと発表した。次世代型パワーデバイス向け材料として有望視されているＧａＮ（窒化ガリウム）やＳｉＣ（炭化ケイ素）などの化合物半導体基盤を画像化して評価することができる。専用集光系の採用…