３Ｄ出力の例

東芝は、製品の外観検査などで、高低差が極めて微小な欠陥でも１度の撮影で３Ｄ（三次元）形状に可視化する光学検査技術を開発したと発表した。独自の光学機器とアルゴリズム（計算手順）を用いた。特に半導体製造で生産効率や歩留まり向上が期待できる。パートナー企業に技術を提供し、活用してもらうことを想定している。半導体分野などでは、ナノ（１０億分の１）㍍級の極…