左から堀場氏、占部氏、堤氏、布村氏、ツァンコフ氏

堀場製作所は17日、「2018堀場雅夫賞」の授賞式を京都大学(京都市左京区)で開いた。本年度は「半導体製造プロセスにおける先端分析計測技術」がテーマで、国内25件と海外11件の応募の中から、堀場雅夫賞3人と特別賞1人を選出した。堀場雅夫賞は将来性のある研究を進める若手研究者が対象で、今年が15回目。堀場雅夫賞は、京大大学院工学研究科航空宇宙工学専…