三菱重工業のグループ会社である三菱重工工作機械は、自社開発の常温ウエハー接合装置を活用した接合サービスで、ウエハーの研磨を手がけるＤ―プロセス（土肥英之社長、神奈川県大和市）と協業すると発表した。Ｄ―プロセスが持つＣＭＰ（化学機械研磨）などの高いウエハー研磨技術と常温接合を組み合わせた一貫サービス体制を整え、半導体製造事業の高度化・拡大を目指す。…