後工程の生産技術ではＴＳＭＣとも連携（ＴＳＭＣの３０㌢㍍ウエハー製造ライン）

先端ロジック半導体の製造技術の早期確立を目指し、官民学一体で研究開発に乗り出した。産業技術総合研究所（産総研、石村和彦理事長）がつくば研究所（茨城県つくば市）内にパイロットラインを整備し、プロジェクト実施企業３社とともに２㌨㍍以下に微細化した最新の半導体の量産を目指す。パイロットラインは３社に加え、材料メーカーや大学なども利用できるようにして、さ…