旭化成は14日、半導体を製造する旭化成マイクロシステム延岡事業所(宮崎県延岡市)で昨年10月に発生した火災についての事故調査報告書を発表した。建屋内の激しい損傷により原因の特定はできなかったとした。推定では、4階のクリーンルーム内にある半導体ウエハ製造設備のチタン除去装置が発生源とした。火災発生は昨年10月20日午後4時40分ごろ。人的被害はなか…