旭化成は１４日、半導体を製造する旭化成マイクロシステム延岡事業所（宮崎県延岡市）で昨年１０月に発生した火災についての事故調査報告書を発表した。建屋内の激しい損傷により原因の特定はできなかったとした。推定では、４階のクリーンルーム内にある半導体ウエハ製造設備のチタン除去装置が発生源とした。火災発生は昨年１０月２０日午後４時４０分ごろ。人的被害はなか…