東京エレクトロンはこのほど、宮城県大和町にプラズマエッチング装置の製造工場を建設するため、宮城県や大和町と立地協定を締結したと発表した。土地代は４０億円弱となる見込みで、引き渡しは２０２１年３月を予定している。その後、新工場の着工を開始する。操業時期や生産能力はこれから検討する。同社は１８～２０年度で取り組んでいる中期経営計画で、新たなアプリケー…