キヤノンは２６日、自動車などに搭載されるパワー半導体やＬＥＤなどのグリーンデバイスやＭＥＭＳ（微小電気機械システム）デバイス向けの半導体露光装置「ＦＰＡ―３０３０ｉ５＋」を発売したと発表した。新製品は、解像力で３５０ナノメートル以下、重ね合わせ精度４０ナノメートル以下、処理能力毎時１０４枚以上（２００ミリメートルウエハー、６０ショット）と同等クラ…