◆日本精機、高周波数に対応する防水・防塵・防爆型の3軸MEMS振動センサー日本精機はこのほど、独自のセンサーパッケージング技術を採用し、高周波数に対応する防水・防塵・防爆型の3軸MEMS振動センサー「VI―2」を開発したと発表した。同センサーは、8キロヘルツまでの高周波数帯域の振動測定に対応する。これにより、プラントや工場で使われる回転機やポンプ…