昭和電工は、生産能力を引き上げているパワー半導体の材料となる炭化ケイ素(SiC)エピタキシャルウエハーの高品質グレードエピウエハー「ハイグレードエピ」(HGE)を追加増強すると発表した。月産能力は現在の月産3千枚から今年4月には5千枚に拡大するが、追加投資で9月には7千枚に引き上げる。同社のHGEは欠陥密度の低さと高い均一性が評価され、需要が好調…