日立ハイテクノロジーズは、４～８インチのウエハーサイズ対応の新型高分解能ＦＥＢ（電界放出方式による電子ビーム）測長装置「ＣＳ４８００」を開発したと発表した。最先端の計測技術を搭載し、二次電子分解と計測再現精度を向上した。半導体デバイスの安...
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