堀場製作所、化合物半導体基盤を画像化して評価する新測定装置

 堀場製作所は、電子技術と光技術を融合し、基盤の広い範囲を高精細、高速で画像化できるカソードルミネッセンス(CL)測定専用の装置「イメージングCL」を業界で初めて開発したと発表した。次世代型パワーデバイス向け材料として有望視されているGaN...

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