NEDO、高品質薄型のSiCウエハーを開発

 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)は14日、東洋炭素と関西学院大学との共同プロジェクトで「炭化ケイ素(SiC)高品質薄板エピウエハ」の製品開発に成功したと発表した。新技術を自動車向けパワーデバイスの半導体に用いることで、省エネ...

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