昭和電工、SiCパワー半導体生産を2.5倍へ

 昭和電工は、秩父事業所(埼玉県秩父市)で生産するパワー半導体用4インチ径SiC(炭化シリコン)エピタキシャルウェハーの生産能力を、従来の2・5倍となる月産1500枚に増強したと発表した。 SiCエピタキシャルウェハーを用いるSiCパワー半...

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