三菱重工業のグループ会社である三菱重工工作機械は、自社開発の常温ウエハー接合装置を活用した接合サービスで、ウエハーの研磨を手がけるＤ―プロセス（土肥英之社長、神奈川県大和市）と協業すると発表した。 Ｄ―プロセスが持つＣＭＰ（化学機械研磨）...
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