キヤノンは２６日、自動車などに搭載されるパワー半導体やＬＥＤなどのグリーンデバイスやＭＥＭＳ（微小電気機械システム）デバイス向けの半導体露光装置「ＦＰＡ―３０３０ｉ５＋」を発売したと発表した。 新製品は、解像力で３５０ナノメートル以下、重...
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