東京エレクトロンデバイスは、遠隔制御ユニット「ファルコンリンク（型名・ＤＳ―ＴＢ―ＢＤ―ＮＫＶＭ）」の販売を開始したと発表した。製造・検査装置の安全な遠隔操作を可能にし、現場への立ち入り作業の費用や時間のロスを削減できる。 同ユニットは、...
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