絶縁破壊によって形成された伝導パスの可視化に成功

東京大学物性研究所の藤原弘和特任研究員らの研究グループは、東大生産技術研究所、東大大学院工学系研究科附属システムデザイン研究センターと共同で、通信機器や計測機器などに使用される不揮発メモリー「ＦｅＲＡＭ」が壊れる瞬間を可視化する手法を世界で初めて開発したと発表した。「レーザー励起光電子顕微鏡（Ｌａｓｅｒ－ＰＥＥＭ）」を活用して、絶縁破壊直前のリー…