日新電機の子会社の日本アイ・ティ・エフ（森口秀樹社長、京都市南区）は新型のダイヤモンド・ライク・カーボン（ＤＬＣ）膜コーティング装置「ＭＦ７２０」＝写真＝を開発したと発表した。フィルターで粗大粒子と成膜成分を分離して成膜成分のみ基材側に導くフィルタードアーク方式を採用し、独自のフィルターを用いることで従来の同方式よりも緻密な成膜を可能にした。ギア…