ＥＵＶフォトマスクを使った半導体チップ製造

ＡＧＣは、グループ会社のＡＧＣエレクトロニクス（佐藤弘昌社長、福島県郡山市）において、ＥＵＶ（波長１３・５㌨㍍の極端紫外線）露光用フォトマスクブランクスの供給体制を大幅に増強すると発表した。半導体チップ回路パターンの微細化が求められる中、ＥＵＶ露光技術が注目されている。５Ｇ（第５世代移動通信システム）やＩｏＴ（モノのインターネット）の本格普及に備…