安川電機はこのほど、半導体製造装置内でのウエハーなどの搬送に使用するクリーンロボット「ＳＥＭＩＳＴＡＲ－ＧＥＫＫＯ（セミスターゲッコー）ＭＤ１２４Ｄ」＝写真＝の販売を開始したと発表した。同製品は、ロボットのアームに減速機を必要としない同社のＡＣサーボモーター「Σ―７シリーズ」のダイレクトドライブモーターを採用している。また、従来機種と比べて位置決…