安川電機はこのほど、半導体製造装置内でのウエハーなどの搬送に使用するクリーンロボット「ＳＥＭＩＳＴＡＲ－ＧＥＫＫＯ（セミスターゲッコー）ＭＤ１２４Ｄ」＝写真＝の販売を開始したと発表した。同製品は、ロボットのアームに減速機を必要としない同社...
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