明電舎は17日、オゾン発生装置や成膜装置の製造と販売を手がける子会社「明電ナノプロセス・イノベーション」を4月1日に設立すると発表した。純度100%のオゾン発生装置とそれを使用した常温成膜技術に関する事業を子会社化することで、機動力を高め...
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