三菱電機は１２日、自動運転向けセンサー「ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）式車載ＬｉＤＡＲ」を開発したと発表した。水平・垂直の２軸で走査する電磁駆動式ＭＥＭＳミラーを搭載し、小型で広い水平視野角を確保した。先行車両や歩行者などの距離や形状を高精度に検知し、高精細な３次元画像を広範囲に取得できる。今後、さらなる小型化や垂直視野角の拡大を進め、２０２５年以降の実用化を目指す。
車載向けに水平・垂直の２軸で走査する電磁駆動式ＭＥＭＳミラーとして開発した。同社独自のミラー構造の採用により面ひずみを抑制し、業界最大級（７㍉㍍×５㍉㍍）の軽量ミラーでの広い振れ角（水平プラスマイナス１５度、垂直プラスマイナス３・４度）を実現した。
また、開発した２軸電磁駆動式ＭＥＭＳミラーと、複数のレーザー光源の高密度実装と最適配置で、１２０度の広い水平視野角を実現した。加えて、信号処理回路基板と光学系部品の最適配置で、ＬｉＤＡＲ本体を９００ｃｃ（１０８㍉㍍×１０５㍉㍍×９６㍉㍍）に小型化した。
