東芝は、製品の外観検査などで、高低差が極めて微小な欠陥でも1度の撮影で3D(三次元)形状に可視化する光学検査技術を開発したと発表した。独自の光学機器とアルゴリズム(計算手順)を用いた。特に半導体製造で生産効率や歩留まり向上が期待できる。パ...
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