後工程の生産技術ではＴＳＭＣとも連携（ＴＳＭＣの３０㌢㍍ウエハー製造ライン）
先端ロジック半導体の製造技術の早期確立を目指し、官民学一体で研究開発に乗り出した。産業技術総合研究所（産総研、石村和彦理事長）がつくば研究所（茨城県つくば市）内にパイロットラインを整備し、プロジェクト実施企業３社とともに２㌨㍍以下に微細化...
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