東京エレクトロンデバイスは、スミックス（宇田満社長、相模原市中央区）と、液晶パネルなどの成膜工程で発生する薄膜ムラを自動で検出するアルゴリズムを共同開発することで合意したと発表した。新アルゴリズムを採用したマクロ検査モジュールを両社で開発...
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