日新電機の子会社の日本アイ・ティ・エフ（森口秀樹社長、京都市南区）は新型のダイヤモンド・ライク・カーボン（ＤＬＣ）膜コーティング装置「ＭＦ７２０」＝写真＝を開発したと発表した。フィルターで粗大粒子と成膜成分を分離して成膜成分のみ基材側に導...
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