堀場製作所は17日、「2018堀場雅夫賞」の授賞式を京都大学(京都市左京区)で開いた。本年度は「半導体製造プロセスにおける先端分析計測技術」がテーマで、国内25件と海外11件の応募の中から、堀場雅夫賞3人と特別賞1人を選出した。 堀場雅夫...
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