6㌅GaN基板製造用のマルチポイントシード基板

豊田合成は、窒化ガリウム(GaN)パワー半導体の開発で大学や企業と連携し、2025年にも6㌅ウエハーのサンプル提供を目指す。24年度中にGaN結晶の育成炉を美和技術センター(愛知県あま市)に1台追加して計2台とし、ウエハーの元となる「種結晶」の生産能力を最大10倍まで高める。同社は30年頃の量産に向け、低コストで大量生産が可能なGaN基板の製造技…