オーストリアのＥＶグループは、日本拠点のイーヴィグループジャパン（山本宏代表、横浜市保土ヶ谷区）が東京大学から化合物半導体研究用途としてプラズマ活性化装置「ＥＶＧ８１０ＬＴ」を受注したと発表した。トランジスタ縮小（スケーリング）での半導体デバイスの小型化はほぼ限界に達しており、ＬＳＩ（大規模集積回路）を高性能化する上でのハードルとなっている。こう…