日本ガイシの製造子会社であるＮＧＫセラミックデバイス（大原実社長、愛知県小牧市）は、半導体製造装置用セラミックスの新たな生産拠点として多治見工場（岐阜県多治見市）の操業を開始したと発表した。新工場では、半導体製造装置の内部で半導体材料のシ...
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