昭和電工は、秩父事業所(埼玉県秩父市)で生産するパワー半導体用4インチ径SiC(炭化シリコン)エピタキシャルウェハーの生産能力を、従来の2・5倍となる月産1500枚に増強したと発表した。SiCエピタキシャルウェハーを用いるSiCパワー半導体は、現在主流のSi(シリコン)半導体と比べて高電圧大電流に耐えられる性質と高温環境下でも動作する特長を持つ。…